校企强联手，共谱「芯」篇章 | 黄山学院集成电路工艺制造实训产线成功流片

集成电路工艺实训平台于2022年10月开始立项建设，是信息工程学院迄今为止综合复杂度最高的学生实训平台。青岛青软晶尊微电子科技有限公司和安徽青软晶芒微电子科技有限公司共同参与了工艺平台的全流程交钥匙工程建设，和校方用户一起搭建集成电路工艺实训平台。从净化室规划，设备关联性调研论证、设备安装等到最终工艺线试产流片成功，历时一年，在此过程中得到了院校领导、地方企业和相关部门的大力支持。

流片样图

近年来，安徽省紧紧抓住集成电路产业发展的战略机遇，出台各项政策加大力度支持集成电路产业快速、高质量发展，形成了从设计、制造、封装和测试等较为完善的产业链条，初步构建起以合肥为核心、沿长江相关城市带协同发展的「一核一带」产业格局。

黄山市紧跟时代步伐，加大招引力度，积极拓展集成电路产业，已初步聚集了以黄山芯微为代表的集成电路产业集群。黄山学院作为黄山市唯一一所本科院校，承接着为黄山市集成电路产业发展提供人才培养、技术赋能、科研支持等重要使命。为此，黄山学院信息工程学院面向集成电路产业需求，新增集成电路设计与集成系统专业，建立了从理论教学、实习实训到毕业设计完备的人才培养体系，为黄山市及周边区域集成电路产业发展提供了充足的人才支持。

此次建设的工艺平台作为学生培养过程的核心支撑环节，包括了氧化设备、镀膜设备、涂胶设备、光刻设备、清洗设备、刻蚀设备、显微镜、性能测试设备、功能测试设备和环境设备等三十余台套。目前已成功研制出可供本科生实训用的「PN二极管」工艺流程，充分发挥校企合作共建机制，将工艺实训的成本降到最低。整体工艺流程开发试验历经2个半月，完成了氧化、扩散、光刻、刻蚀、金属沉积和探针台测试等工艺试验和25道工序的开发训练，相关工艺类型基本覆盖常规集成电路工艺实验类型，可以满足本科生集成电路工艺实训课程的需求。

工艺平台设备（部分）

工艺平台操作的主要内容是要求学生独立完成集成电路制造、测试工艺的各主要流程，重点考验学生的分析问题能力和解决问题能力，培育学生对集成电路的兴趣爱好。整体工艺分为洁净间准备、工艺制造、芯片测量技术三部分，每一部分都决定着芯片的质量。

PN二极管工艺流程示意图

集成电路制造工艺实训是制约当前高校集成电路工艺人才培养的核心瓶颈之一，长期以来存在实验室建设成本高、建设「门槛」高、使用要求高等问题，难以在应用型本科高校中开展实体工艺线实训项目。

通过黄山学院、青软晶尊、青软晶芒深度校企合作共建方式成功建设的「集成电路工艺实训平台」，将为黄山学院培养应用型能力的集成电路相关专业人才提供强大支持，也为其他应用型本科高校提供了一个可借鉴、高性价比的工艺平台建设方案。同时，该平台将对集成电路工艺实训课程的建设起到积极示范作用，为我国集成电路行业工程师人才培养添砖加瓦，促进我国集成电路行业的健康发展。